PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD(Flowable CVD)及混合键合设备等系列产品量产规模不断扩大,持续获得客户订单,公司业务规模呈现快速增长趋势。2024年度,公司出货超过1000个设备反应腔,创公司历史年度新高。
PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、超高深宽比沟槽填充CVD(Flowable CVD)及混合键合设备等系列产品量产规模不断扩大,持续获得客户订单,公司业务规模呈现快速增长趋势。2024年度,公司出货超过1000个设备反应腔,创公司历史年度新高。