光刻胶(Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
光刻胶属于半导体八大核心材料之一,根据全球半导体行业协会(semi)最新数据,光刻胶在 半导体晶圆 制造材料价值占比5%,光刻胶辅助材料占比7%,二者合计占比12%,光刻胶及辅助材料是继硅片、 电子特气 和光掩模之后的第四大 半导体材料 。本文主要就 ...
2024年3月1日 · PCB 光刻胶主要包括干膜光刻胶、湿膜光刻胶、感光阻焊油墨等;平板显示光刻胶则主要是彩色及黑色光刻胶、TFT-LCD 正性光刻胶、LCD 触摸屏用光刻胶等;半导体光刻胶根据波长可进一步分为 G 线光刻胶(436nm)、I 线光刻胶(365nm)、KrF 光刻 …
2023年5月13日 · 光刻胶是集成电路制造的重要材料,光刻胶的质量和性能是影响集成电路性能、成品率及可靠性的关键因素。光刻工艺的成本约为整个芯片制造工艺的35%,并且耗费时间约占整个芯片工艺的40%-50%。光刻胶材料约占ic制造材料总成本的4%,市场巨大。
2017年10月31日 · 光刻胶由光引发剂、树脂、溶剂等基础组分组成,又被称为光致抗蚀剂,这是一种对光非常敏感的化合物。此外,光刻胶中还会添加光增感剂、光致产酸剂等成分来达到提高光引发效率、优化线路图形精密度的目的。
2024年11月20日 · 在光刻胶的合成中,有几种比较重要的材料,包括光刻胶添加剂、光致产酸剂、光刻胶用单体、光刻胶用光引发剂。 一、光刻胶用单体. 光刻胶用单体是构成光刻胶的基本单元,地位关键,如同建筑基石般决定了光刻胶的基本化学和物理性质。
2025年1月2日 · 所谓的光刻胶,是在光刻工艺中用到的抗腐蚀涂层材料。它对光敏感,在光线照射或辐射的时候,溶解度发生了变化,光刻胶主要由感光树脂、增感器和溶剂三种主要成分组成。光刻胶领域的技术壁垒比较高,需求也非常大。
2025年1月2日 · I线光刻胶可分为三类:一是分辨率为0.5um的普通I线光刻胶,用于非关键层光刻工艺;二是分辨率达0.35um的高分辨I线光刻胶,用于关键层光刻工艺,应用化学增幅型I线可以将分辨率提高到0.25um;三是厚膜光刻胶(膜厚为(3-5um),用于钝化层光刻工艺。
光刻胶是一种对光敏感的混合液体,是微电子技术中微细图形加工的关键材料。它由光引发剂(光增感剂、光致产酸剂)、光刻胶树脂、溶材料剂、单体(活性稀释剂)和其他助剂组成。 光刻胶是光刻工艺的核心材料。
2025年1月2日 · 紫外宽谱光刻胶:高压汞灯全谱曝光;适用于2um以上工艺线宽;主要应用: 分立器件 、LED器件、MEMS(微机电)、先进封装。 特点:以 酚醛树脂 为成膜树脂,重氮萘醌化合物为感光材料,分辨率相对较低(>5um),工艺宽容度大,抗 湿法刻蚀 性能优良。